Машина для нанесения оптического покрытия с магнетронным напылением серии HCAR
- Под заказ
- Оптом и в розницу
Отправка с 05 июня 2024Цену уточняйте
| Модель | HCAR-2100 | HCAR-1800 | HCAR-1300 |
| Площадь покрытия | Φ2100x H1200mm | Φ1800x H1000мм | Φ1300x H700mm |
| Конструкция | Вертикальная одностворчатая, компоновка All-In-One Box | Вертикальная одностворчатая, компоновка All-In-One Box | Вертикальная одностворчатая, компоновка All-In-One Box |
| Длина волны | 380nm~780nm | 380nm~780nm | 380nm~780nm |
| Скорость вращения | 0~25RPM(переменная) | 0~25RPM(переменная) | 0~100RPM(переменная) |
| Скорость откачки камеры покрытия | 4.0×10-3Pa≤30min | 4.0×10-3Pa≤30min | 3.0×10-3Pa≤30min |
| Максимальный вакуум | 5.0×10-4Pa | 5.0×10-4Pa | 2.0×10-4Pa |
| Мишень для распыления | Nb,Si,Cr,Al,In ... | Nb,Si,Cr,Al,In ... | Nb,Si,Cr,Al,Ti ... |
| Джиг-блок | Приспособление для вращения с вращением в центре внизу | Приспособление для вращения с вращением в центре внизу | Приспособление для вращения с вращением в центре внизу |
| Вакуумный блок | насос низкого вакуума + насос высокого вакуума + криогенный насос | насос низкого вакуума + насос высокого вакуума + криогенный насос | Low Vacuum Pump + High Vacuum Pump + Cryogenic Pump |
| Регулятор вакуума | регулятор вакуума, датчик Пеннинга, датчик Пирани | регулятор вакуума, датчик Пеннинга, датчик Пирани | Vacuum Controller, Penning Gauge, Pirani Gauge |
| Блок покрытия | Источник магнетронного распыления постоянного тока + СЧ + источник плазмы | Источник магнетронного распыления постоянного тока + СЧ + источник плазмы | DC or MF Magnetron Sputtering Source + Plasma Source + Thermal Source |
| Зарядное устройство | MFC + регулятор давления speedflo | MFC + регулятор давления speedflo | MFC or APC Automatic pressure controller |
| Контроллер толщины | Контроллер кристалла | Контроллер кристалла | Crystal Control or Optical Control |
| Контроллер | Промышленный PC + TP | Промышленный PC + TP | Промышленный PC + TP |
| Application | Применение: AR, твердое покрытие AR, твердое покрытие, декоративное покрытие, покрытие HR и т. Д. | Применение: AR, твердое покрытие AR, твердое покрытие, декоративное покрытие, покрытие HR и т. Д. | AR, AF, твердое покрытие AR, твердое покрытие, декоративное покрытие, покрытие HR и т. Д. |
По сравнению с обычным устройством с плоской мишенью, используемым в промышленности, цикл обслуживания и эффективность использования материала мишени устройства с вращающимся катодом значительно улучшены; индивидуализированная конструкция рамы заготовки опорной плиты может обеспечить максимальное использование пространства для размещения продукции заказчика; полностью автоматическое подъемное устройство может значительно сократить время открытия и закрытия машины и значительно повысить эффективность производства и стабильность процесса; Разделение патентов. Подчиненный источник обладает такими характеристиками, как широкий энергетический баланс, высокая степень изоляции, сверхстабильная эффективность работы и низкое энергопотребление.
Он может использовать время для точного контроля толщины пленки, соответствия требованиям процесса проектирования, экономии кристаллов и оптических каналов управления, а также экономии большого количества расходных материалов для приборов измерения толщины пленки для клиентов; он может производить азотирующую пленку с высоким показателем преломления, улучшать характеристики твердости пленки; его можно использовать для различных целей при невысокой температуре; он может автоматически регулировать устройство подачи газа, поддерживать стабильное целевое напряжение и обеспечивать качество пленки; дополнительная корректирующая пластина« Внешний механизм регулировки ».
Система напыления оснащена множеством цилиндрических мишеней на боковой стенке для улучшения скорости напыления и получения многослойного покрытия. Система оснащена кольцевым катодом с импульсным постоянным током или ВЧ мощным катодом. Вертикально установленная подложка и цилиндрический катод могут минимизировать загрязнение частицами в процессе нанесения покрытия.
AR ilm (коэффициент пропускания стекла подложки> 91,5%):
■ В диапазоне 420–680 нм средний коэффициент пропускания с одной стороны составляет более 95%, а коэффициент отражения - менее 0,5 (средний);
■ Средний коэффициент пропускания с обеих сторон составляет более 98%, а коэффициент отражения менее 0,5 (средний);
Цветная пленка или градиентная пленка:
■ По образцу заказчика пять печей загружаются произвольно или полностью, а разница в цвете Δ E & lt; 1,2;
■ Испытание на кипение: кипячение при 80 ℃ в течение 30 минут, 3M после теста сетки 100 (1 * 1 мм), это более 4B.
Машина для нанесения оптического покрытия с магнетронным напылением серии HCAR включает следующие ключевые возможности:
-
Компактный
Компактность, простота интеграции -
Запатентованный
-
Точный
Точный контроль толщины пленки -
Низкая температура
Формация при низкой температуре менее 70 ℃ -
Автоматизация
Автоматическое регулирование расхода газа -
Простой
Простота эксплуатации и обслуживания
- Цена: Цену уточняйте